The tse tharo-dimensional coordinate lekanya mochine ikopanya le holim'a ntho tla lekanngoa ka probe kapa optical kutlo, bokella tse tharo-tekanyetso sebaka sekopanyi ya data, le reconstrucs dikarolo thutatekanyo ya ntho ka kopanyo le algorithms software. Tshepedišo ya yona ya motheo e akaretša dikarolo tše tharo: tshepedišo ya go šišinya ya motšhene, tshepedišo ya sensara le tshepedišo ya data. Tshepedišo ya tšhišinyego ya motšhene e šomiša diporo tša tlhahlo tše di dirilwego ka didirišwa tša godimo{4}}tše di tiilego (tše bjalo ka granite goba tlhale ya khapone) le servo motor drive go netefatša gore probe e ka sepela ka go nepagala ga ±({5}}L/250) μm ka go tše tharo-axis directions of x/y/z (go ya ka maemo a ISO 10360). The kutlo tsamaiso e arotsoe ka ikopanye le probes le non-ikopanya laser scanners. Probe ya kgokagano e romela matshwao ka phello ya piezoelectric, gomme go boeletšwa go ka fase ga goba go lekana le 0.5 μm. Tharollo ya non-ikopanya laser skena ka fihla 0.01 μm, empa e lekanyelitsoeng ke litšobotsi tse bonahatsang tsa holim'a. Tshepetšo ya datha e kgoboketša maru a dintlha ka disekwere tše nnyane tše di loketšego, e bala ditekanyetšo tša go swana le bogolo, kgotlelelo ya foromo le maemo, gomme e tšweletša pego ya teko.
Karolong ya katološo ya setegeniki le ya go bapetša, go ikgokaganya le go se ikgokaganye le go ela ga tšona go na le mehola le go se loke ga tšona. Mabaka a bohlokwa ao a amago go nepagala a akaretša themperetšha ya tikologo (phetogo ye nngwe le ye nngwe ya Celsius ya tekanyo e hlola phošo ya go ka ba 4 μm/m) le go ikarola ga thothomelo (tafola ya go fokotša moya ya selemo e a nyakega, gomme amplitude e swanetše go laolwa go ba ka fase ga 1 μm). Ditirišo tše di tlwaelegilego di akaretša go ela go ba sephaphathi ga disilinda tša entšene ka intastering ya dikoloi (senyakwa sa kgotlelelo sa ±10 μm) le tše tharo-go hlahloba contour ya tekanyo ya dithipa tša turbine tša sefofane (go nyakega skena sa laser go fihlelela go boeletšwa ga 0.02 mm).